Miért válassza a szuper alacsony tágulású fényvisszaverő tükrönket?
Amikor a pontosság számít, a mi Szuper alacsony tágulású fényvisszaverő tükör páratlan teljesítményt nyújt a legigényesebb környezetekben is. Félvezetőgyártók, repülőgépipari rendszerek és nagy teljesítményű lézeralkalmazások számára tervezett tükrök, amelyek a közel nulla hőtágulást a nanométer alatti felületi pontossággal ötvözik. Képzeljen el olyan optikákat, amelyek még gyors hőmérséklet-ingadozások mellett is megőrzik alakjukat és fényvisszaverő képességüket – ezt kapja szabadalmaztatott üvegkerámia technológiánkkal.
Alapvető előnyök
- EUV litográfiai gépek: Minimális energiaveszteséggel verik vissza a 13.5 nm-es fényt az élesebb ostyamintázat érdekében, ami kritikus fontosságú a 3 nm-es és kisebb félvezető chipek előállításánál. Az atomi szintű simaság 99.999%-os visszaverődést biztosít, míg a nulla hőtorzulás megakadályozza az illesztési hibákat, növelve a hozamot a nagy volumenű gyártásoknál, ahol a pontosság közvetlenül befolyásolja a termelési hatékonyságot.
- Lézeres szeletvizsgálat: A 3 nm-nél kisebb hibákat torzításmentes nyalábirányítással észleli, amelyet a <0.5 nm RMS érdességű tükrök tesznek lehetővé. Ez a pontosság biztosítja a pontos hibatérképezést a szeleteken, segítve a gyártókat a hibák korai azonosításában és a selejtarány csökkentésében a fejlett chipgyártás során.
- Nagy teljesítményű lézerrendszerek: A tartós többrétegű bevonatoknak és a hőstabil hordozóknak köszönhetően kW-szintű sugarakat is képesek kezelni felületi vetemedés vagy bevonatkárosodás nélkül. Ezek a tükrök a nap 24 órájában, a hét minden napján megőrzik integritásukat ipari környezetben, megakadályozva a teljesítménycsökkenést vágási, hegesztési vagy anyagfeldolgozási alkalmazásokban.
- Űroptika: Ellenáll a pálya hőmérsékleti ingadozásainak, miközben megőrzi az optikai beállítást, közel nulla hőtágulási együtthatóval (CTE) rendelkező anyagokat használva, amelyek ellenállnak a méretváltozásoknak -50°C és 150°C között. Ez a stabilitás biztosítja a konzisztens képalkotást műholdakon és teleszkópokon, ahol a hő okozta beállítási eltérés veszélyeztetné a kritikus adatokat.
paraméterek
| Leírás |
Érték: |
| Dimenzió |
D=φ3–φ25mm (tűrés ±0.1), H=3–8 mm D:Ma > 4:1 (tűrés ±0.5)
D=φ26–φ100mm (tűrés ±0.1), H=6–25 mm D:Ma > 5:1 (tűrés ±0.5) |
| Bevonat terület |
hagyományos méret D12.7, bevonatfelület mérete 7.5; A D25 bevonatfelület mérete 10, a többi bevonat terület mérete testreszabható |
| Felületi pontosság |
λ / 10 @ 632.8 nm |
| Párhuzamos hiba |
<10 " |
| Érdesség |
Ra0.12nm (Zygo profilométer) vizsgálati terület 173*173um teljes frekvencia mérés |
| Visszaverődés |
≥99.999% (420-3000 nm) |
| Veszteség |
2-3ppm |
| Átvitel |
3-5ppm |
| Anyagok |
ULE, olvasztott szilícium, egykristályos szilícium, zafír |
| a felhasználói igényeknek megfelelően testreszabható |

Ahol a legjobban teljesít
- Félvezető litográfia: A 3 nm-es chipgyártás során előforduló rétegezési hibák kiküszöbölhetők ultraprecíz, <0.5 nm RMS érdességgel és közel nulla hőtágulással rendelkező tükrökkel. Ezek az alkatrészek biztosítják az igazítási pontosságot ismételt expozíciók során, ami kritikus fontosságú a nanoskálájú áramköri rétegek egymásra helyezéséhez az illesztési hibák nélkül, amelyek rontanák a nagy volumenű gyártások hozamát.
- Lézeres giroszkópok: Lehetővé teszik a repülőgépipari rendszerek sodródásmentes navigációját azáltal, hogy stabil nyalábutakat tartanak fenn alacsony szórású, <0.1%-os visszaverődési variációjú tükrök segítségével. Ez a pontosság kiküszöböli az optikai tökéletlenségek okozta jeleltolódást, biztosítva a pontos tájolási adatokat repülőgépek, műholdak és rakétairányító rendszerek számára.
- Metrológiai rendszerek: Atomi méretű pontosságú mérések λ/20 felületi pontosságra és minimális fényszórásra tervezett tükrök segítségével. Ezek az alkatrészek fokozzák az interferométer teljesítményét, rögzítve a félvezető ostyákban, optikai alkatrészekben és precíziósan megmunkált alkatrészekben bekövetkező szubnanométeres méretváltozásokat.
- Nagy teljesítményű lézerek: A hőstabil hordozóknak és a robusztus többrétegű bevonatoknak köszönhetően kW-szintű nyalábokat kezelnek torzítás nélkül. A hő okozta vetemedésnek és a bevonat degradációjának ellenálló tükrök megőrzik a nyaláb integritását az ipari vágás, hegesztés és lézeres csiszolás során, biztosítva a konzisztens teljesítményt a 24/7-es működés során.
Túlélő és jobb teljesítményre tervezve
Minden Szuper alacsony tágulású fényvisszaverő tükör átesik:
✅ 100%-os interferometriás ellenőrzés
✅ 500 ciklusos hősokk-tesztelés
✅ Gyorsított öregedési szimulációk (15 évnek megfelelő)
✅ Szennyeződésvezérelt csomagolás (IEST-STD-1246)
„Nulla állásidő a hőeltolódás miatt a tükrök felszerelése óta.” – Félvezetőgyár igazgatója
3 ok, amiért mi vagyunk az okos választás
1. Jobb, mint az olvasztott szilícium-dioxid: 40%-kal alacsonyabb hőtágulási együttható (CTE), 10-szer simább felületek.
2. Gyártásban bizonyított: Az ASML, a Nikon és a TSMC tanúsított beszállítói.
3. Fenntartható gyártás: A bevonatanyag 95%-a újrahasznosított.

Gyakran ismételt kérdések
K: Hogyan tartják fenn a hibamentes felületeket a bevonás során?
V: Ionsugaras porlasztási eljárásunk ISO 1. osztályú tisztaterekben történik, valós idejű vastagság-ellenőrzéssel.
K: Mely tisztítási módszerek biztonságosak?
V: Használjon IPA gőzt vagy CO2 havat – minden megrendeléshez részletes protokollokat adunk.
K: Megfelelnek-e a korábbi rendszer dimenzióinak?
V: Igen! Készítettünk egyedi tükröket az 1980-as évekbeli, ma is működő litográfiai szerszámokhoz.
Készen állsz optikai teljesítményed fejlesztésére?
✅ Ingyenes mintaprogram: Teszteljen egyet Szuper alacsony tágulású fényvisszaverő tükör pályázatában.
✅ 24/7-es mérnöki támogatás: A prototípusgyártástól a nagy tételben történő megrendelésekig.
✅ 15 napos átfutási idő: Gyorsított lehetőségekkel.
Vegye fel a kapcsolatot csapatunkkal még ma, hogy megbeszélhessük igényeit:
???? xachaona@163.com