Kalcium-fluorid szuper alacsony veszteségű lapos homorú tükör

 Precíziós optika igényes alkalmazásokhoz

termékeink Kalcium-fluorid szuper alacsony veszteségű lapos homorú tükör olyan mérnökök és kutatók számára készült, akiknek kompromisszumok nélküli teljesítményre van szükségük ultraibolya (UV) hullámhosszakon. Ultra nagy tisztaságú szintetikus kalcium-fluoridból (CaF₂) készültek, ezek a tükrök <0.05%-os abszorpciós veszteséget biztosítanak 193 nm-en és 248 nm-en – ez kritikus fontosságú a félvezető litográfia, a lézernyaláb-formázás és a méréstechnikai rendszerek számára, ahol a hősodródás és a szóródás kisiklathatja a pontosságot.

A legfontosabb műszaki adatok egy pillantással

Ahol a tükreink kiemelkedőek

1️⃣ DUV litográfiai rendszerek: A sugárzásnak ellenálló hordozók és a λ/10 felületi pontosság segítségével megőrizhető a nyaláb integritása nagy nullapontosságú optikában, minimális hullámfront-torzítással, még hosszan tartó UV-sugárzás esetén is – ez kritikus fontosságú a 7 nm-nél kisebb jellemzők mintázásakor, ahol a torzítás tönkretenné az áramkörök pontosságát a fejlett félvezető-gyártásban.

2️⃣ Lézeres megmunkálóeszközök: Ellenállnak a nagy teljesítményű excimer lézereknek, miközben ellenállnak a hőlencse-hatásnak – ideálisak mikromegmunkáláshoz és vékonyréteg-ablációhoz, kihasználva az alacsony abszorpciójú bevonatokat (<5 ppm veszteség) és az akár 300°C-ig terjedő hőstabilitást a nyaláb vetemedésének megakadályozása érdekében, biztosítva az egységes vágási minőséget az elektronikai és orvostechnikai eszközök gyártásában.

3️⃣ Lapkavizsgálat: <0.1%-os szórási veszteség érhető el a 10 nm alatti hibák észlelésekor a fejlett csomópontokban, a ngström alatti simaságnak (<0.12 nm Ra) köszönhetően, amely kiküszöböli a felületi egyenetlenségekből eredő téves leolvasásokat, lehetővé téve a megbízható minőségellenőrzést a 3 nm-es és azon túli chipgyártósorokon.

4️⃣ Metrológiai beállítások: Fázisérzékeny EUV-méréseket tesz lehetővé λ/10 felületi síkfelülettel, 99.999%-os fényvisszaverő képességgel párosítva a jel integritásának megőrzése érdekében, biztosítva a precíz méretelemzést a félvezető metrológiában, ahol a mérési hibák veszélyeztethetik az eszköz teljesítményének validálását.

Megbízható megfelelőség

• ✅ ISO 9001:2015 tanúsítvánnyal rendelkezik: Biztosítja az egységes minőségirányítást a gyártás során, a DUV litográfiai alkatrészektől a metrológiai tükrökig, szigorú folyamatszabályozással, amely minimalizálja a változékonyságot – ez kritikus fontosságú a félvezetőgyártók számára, akik a nagy nulla anaerob indexű optikák és ellenőrző eszközök egyenletes teljesítményére támaszkodnak.
• ✅ SEMI F47 Szennyeződés-szabályozás: Megfelel a tisztatéri környezetekre vonatkozó szigorú részecske- és gázkibocsátási szabványoknak, megakadályozva a mikroszennyeződést a DUV litográfiai és wafer-vizsgálati beállításokban, ahol még az apró részecskék is tönkretehetik a 10 nm alatti jellemzőket a félvezetőgyártás során.
• ✅ RoHS/REACH megfelelőség: Kiküszöböli a korlátozott anyagokat az anyagokban, biztosítva a biztonságos integrációt a lézeres megmunkáló eszközökbe és méréstechnikai rendszerekbe, összhangban az elektronikai gyártásra vonatkozó globális környezetvédelmi előírásokkal, az EU-ban működő gyáraktól az ázsiai félvezető központokig.
• ✅ Teljes anyagkövetés: Minden alkatrészt nyomon követ a nyers hordozótól a végső bevonatig, lehetővé téve a litográfiai vagy lézeres feldolgozási beállításokban jelentkező teljesítményproblémák ok-okozati elemzését, támogatva a minőségellenőrzéseket és a megbízhatóság validálását a fejlett félvezetőgyártásban.

Az Ön igényeihez szabva

Egyedi megoldásokra specializálódtunk:

• Görbületi sugarak: 100 mm – 2000 mm
• Nyílások: Ø10mm – Ø300mm
• Bevonatok: Kettős hullámhosszú AR védőrétegek
• Sarzskonzisztencia: Sarzsról sarzsra variációs együttható <2%

Miért minket választanak a mérnökök?

• Több mint 15 év a DUV optikában
• 98%-os időben történő szállítás 500 darabnál nagyobb megrendelések esetén
• <0.1%-os hibaszázalék (MIL-STD-883 szabvány szerint tesztelve)
• Globális logisztika SEMI-tanúsítvánnyal rendelkező partnerekkel

Készen áll optikai rendszere optimalizálására?

1. 📩 Egyedi árajánlat kérése (48 órás válaszidő)

2. 📥 Teljes adatlap letöltése

3. 🕒 Mérnöki konzultáció ütemezése

Gyakran ismételt kérdések

❓ Hogyan működnek ezek Kalcium-fluorid szuper alacsony veszteségű lapos homorú tükör UV átlátszóság fenntartása?

Saját fejlesztésű kristálynövesztő eljárásunk kiküszöböli az UV-sugárzás elnyelését okozó szennyeződéseket, biztosítva a >99%-os áteresztőképességet 193 nm-en, még több mint 10,000 XNUMX lézerciklus után is.

❓ Milyen tisztítási módszerek biztonságosak?

Használjon szűrt nitrogéngázt vagy 1:1 arányú IPA/ioncserélt víz oldatot. Kerülje a mechanikus törlést, kivéve, ha feltétlenül szükséges.

❓ Tudsz nem szabványos méreteket is teljesíteni?

Igen! Akár Ø300 mm-es tükröket is gyártottunk már, akár 50 mm-es görbületi sugárral az EUV kutatóeszközeihez.

❓ Hogyan érhető el a hőstabilitás?

A tükör geometriáját végeselem-szimulációkkal optimalizáljuk, hogy kompenzáljuk a CaF₂ hőtágulási együtthatóját (18.9×10⁻⁶/K).

Több kérdésed van?

Vegye fel a kapcsolatot optikai mérnökeinkkel a következő címen: xachaona@163.com személyre szabott támogatásért.

Optimalizálja optikai teljesítményét a Kalcium-fluorid szuper alacsony veszteségű lapos homorú tükör– ahol a pontosság találkozik a megbízhatósággal.